光・歪複合検知MEMSセンサによる近接覚・触覚計測

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2014/07/01

タイトル(英語): Proximity and Tactile Sensing Using a Single MEMS Sensor with Photo- and Strain Sensitivities

著者名: 横山　輔久登（大阪大学大学院基礎工学研究科），金島　岳（大阪大学大学院基礎工学研究科），奥山　雅則（大阪大学ナノサイエンスデザイン教育研究センター），安部　隆（新潟大学大学院自然科学研究科），野間　春生（立命館大学情報理工学部），東　輝明（ニッタ（株）），寒川　雅之（大阪大学大学院基礎工学研究科／新潟大学大学院自然科学研究科）

著者名(英語): Hokuto Yokoyama (Graduate School of Engineering Science, Osaka University), Takeshi Kanashima (Graduate School of Engineering Science, Osaka University), Masanori Okuyama (Institute for NanoScience Design, Osaka University), Takashi Abe (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Haruo Noma (Department of Media Technology, Ritsumeikan University), Teruaki Azuma (Nitta Corporation), Masayuki Sohgawa (Graduate School of Engineering Science, Osaka University/Graduate School of Science and Technology, Niigata University)

キーワード: 触覚センサ，近接覚センサ，MEMS，マイクロカンチレバー，多機能　　tactile sensor，proximity sensor，MEMS，microcantilever，multifunction

要約(英語): A novel method has been proposed to detect proximity and tactile information using a single MEMS sensor. Tactile information is obtained from DC resistance change of NiCr strain gauge film. In contrast, proximity information is obtained from AC impedance change, which is caused by photo-absorption of Si wafer irradiated by a neighboring LED. Therefore, selection of the information to be acquired is performed by switching the DC and AC measurement system. Experimental results show almost linear tactile output to indentation of 0 to 0.5mm and non-linear proximity output to distance of 0 to 50mm, respectively. Moreover, the sensor is able to acquire rough shape of a toroidal object by proximity measurement.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.134 No.7 （2014） 特集：フィジカルセンサの基礎

本誌掲載ページ: 229-234 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/7/134_229/_article/-char/ja/