電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.134 No.8 （2014）

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2014/08/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.134 No.8 (2014)

著者リスト: ・電子式キャビティーリングダウン分光分析について：平林　佑基，谷本　浩一，前田　佳伸 ・2D Asymmetric Silicon Micro-Mirror Fabricated with Anodic Bonding between an Ultra-thin Silicon Film by Laser Micro-Processing and a Glass Substrate：Takaki Itoh，Toshihide Kuriyama，Toshiyuki Nakaie，Jun Matsui，Yoshiaki Miyamoto，Hiroshi Maeda ・機械共振による変位拡大を利用した焦点可変ミラーの基礎特性：佐々木　敬，佐藤　大紀，中澤　謙太，羽根　一博 ・シリコンウエハ全面にわたる結晶異方性ウェットエッチング加工での表面加工形状の均一性の向上：村上　直，大森　龍之介，清水　正義，伊藤　高廣 ・パルス電流印加ゲート構成によるFET水素センサの応答特性の高速化：奥井　貴博，牛田　祐貴，武市　修蔵，堺　健司，紀和　利彦，塚田　啓二 ・バイナリー振動を示す非線形結合シリコン振動子：三井　陽介，小野　崇人 ・センサ用低電圧CMOSインバータ型差動増幅回路の設計と評価：川村　恭平，松本　佳宣

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/134/8/_contents/-char/ja/