オールドライプロセスによるMEMSガスセンサの試作と評価

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2014/09/01

タイトル(英語): Production and Evaluation of MEMS Gas Sensor by All Dry Processes

著者名: 山寺　秀哉（（株）豊田中央研究所），景山　恭行（（株）豊田中央研究所）

著者名(英語): Hideya Yamadera (Toyota Central R&D Labs., Inc.), Yasuyuki Kageyama (Toyota Central R&D Labs., Inc.)

キーワード: MEMS，薄膜，ガスセンサ，多結晶シリコン，白金電極，ボッシュプロセス　　MEMS，thin film，gas sensor，poly-Si，Pt electrode，Bosch process

要約(英語): The MEMS gas sensor consisted of a poly-Si heater, a SnOx gas sensitive film and Pt/TiN/Ti electrodes was produced by all dry processes and the properties of this sensor were evaluated. 50 ppm ethanol gas was stably detected in smaller size and at lower-power consumption by the MEMS gas sensor than by the conventional bulk gas sensor.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.134 No.9 （2014）

本誌掲載ページ: 290-293 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/9/134_290/_article/-char/ja/