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陽極接合可能なセラミック貫通配線基板を用いた静電駆動型超音波トランスデューサ

陽極接合可能なセラミック貫通配線基板を用いた静電駆動型超音波トランスデューサ

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カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2014/10/01

タイトル(英語): Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers Using Anodically Bondable Ceramic Wafer with Through-Wafer Via

著者名: 広島 美咲(東北大学),松永 忠雄(東北大学),峯田 貴(山形大学 大学院理工学研究科),芳賀 洋一(東北大学)

著者名(英語): Misaki Hiroshima (Tohoku University), Tadao Matsunaga (Tohoku University), Takashi Mineta (Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University), Yoichi Haga (Tohoku University)

キーワード: 静電駆動型超音波トランスデューサ,LTCC基板,陽極接合  CMUTs (Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers),LTCC substrate,Anodic bonding

要約(英語): This paper describes the design and experimental results of CMUTs (Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers) using an anodically bondable LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) wafer. Electrical connection of the CMUTs top electrode and the LTCC via were successfully performed at a time of anodic bonding by forming Au bump on the electrode. The vibration characteristics of the membrane were measured by a laser Doppler vibrometer both in the atmosphere and in the water. Ultrasonic pressure signal of CMUTs arrays was measured using hydrophone.

本誌: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol.134 No.10 (2014)

本誌掲載ページ: 333-337 p

原稿種別: 論文/日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/10/134_333/_article/-char/ja/

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