コンパクトモデル・マクロモデルによるMEMS/電子回路の連成シミュレーション

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2014/11/01

タイトル(英語): Coupled Analysis of MEMS and Electric Circuits Using Compact Models and Macromodels

著者名: 望月　俊輔（（株）NTTデータ数理システム），水田　千益（（株）NTTデータ数理システム）

著者名(英語): Shunsuke Mochizuki (NTT DATA Mathematical Systems Inc.), Chieki Mizuta (NTT DATA Mathematical Systems Inc.)

キーワード: 解析手法，設計ソフトウェア，モデリング，連成解析　　analytical technique，design software，modeling，coupled analysis

要約(英語): We report electro-mechanical coupled analysis using compact models and macromodels. Mechanical and electro-mechanical compact models are inserted directly to a circuit simulator. In addition, macromodels for MEMS devices are extracted using Lagrangian-based energy method and the results of finite element (FE) or boundary element (BE) simulations. These models are verified by comparing the results of circuit simulations with those of experiments or FE/BE coupled simulations.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.134 No.11 （2014） 特集：シミュレーションを活用したトップダウンMEMS解析設計

本誌掲載ページ: 349-356 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/134/11/134_349/_article/-char/ja/