電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.134 No.12 （2014）

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2014/12/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.134 No.12 (2014)

著者リスト: ・生体センシングとMEMS：前中　一介 ・MEMSマイクロミラーアレイを用いた静電気分布測定：栗山　敏秀，高辻　渉，伊東　隆喜，前田　裕司，中家　利幸，松井　順，宮本　佳明 ・Cr-N感歪薄膜とその圧力センサ応用：丹羽　英二，佐々木　祥弘 ・Study on Vibration-coupling Control of Out-of-plane Coupled Resonator for Anti-shock Tuning Fork Gyroscopes：Praveen Singh Thakur，Koji Sugano，Toshiyuki Tsuchiya，Osamu Tabata ・自己静電容量測定を用いた近接覚・触覚センサ：辻　聡史，小浜　輝彦

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/134/12/_contents/-char/ja/