MEMSマイクロヒータ用温度コントローラの動特性解析技術

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2015/02/01

タイトル(英語): Dynamic Characteristics Analysis Method of Temperature Controller for MEMS Micro Heaters

著者名: 浅野　哲（（株）日立製作所 日立研究所），松本　昌大（（株）日立製作所 日立研究所），中野　洋（（株）日立製作所 日立研究所），半沢　恵二（日立オートモティブシステムズ（株））

著者名(英語): Satoshi Asano (Hitachi Research Laboratory, Hitachi, Ltd.), Masahiro Matsumoto (Hitachi Research Laboratory, Hitachi, Ltd.), Hiroshi Nakano (Hitachi Research Laboratory, Hitachi, Ltd.), Keiji Hanzawa (Hitachi Automotive Systems, Ltd.)

キーワード: MEMS，マイクロヒータ，モデル化，伝熱，シミュレーション，制御設計　　MEMS，Micro Heater，Modeling，Heat Transfer，Simulation，Control Design

要約(英語): This paper reports mathematical modeling method of MEMS micro heater and analysis method of dynamic characteristics of the temperature controller for the micro heater. The model expressed by the main heat transfer phenomenon in the heater system shows the response properties similar to actual device. Moreover, the temperature controller IC designed using the model shows characteristics similar to simulation. By this technique, we can improve the development efficiency of temperature controller for sensors with the micro heater.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.135 No.2 （2015） 特集：味覚センサの現状と発展

本誌掲載ページ: 85-89 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/135/2/135_85/_article/-char/ja/