直下入射方式の光てこ変位検出によるツインプローブ原子間力顕微鏡

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2015/04/01

タイトル(英語): Twin-probe Atomic Force Microscopy with Optical Beam Deflection using Vertically Incident Lasers by Two Beam Splitter

著者名: 佐藤　宣夫（京都大学大学院 工学研究科／千葉工業大学），常見　英加（京都大学大学院 工学研究科），小林　圭（京都大学大学院 工学研究科／京都大学白眉センター），小松原　隆司（堀場製作所），樋口　誠司（堀場製作所），松重　和美（京都大学大学院 工学研究科），山田　啓文（京都大学大学院 工学研究科）

著者名(英語): Nobuo Satoh (Department of Elect. Sci. and Eng., Kyoto University/Chiba Institute of Technology), Eika Tsunemi (Department of Elect. Sci. and Eng., Kyoto University), Kei Kobayashi (Department of Elect. Sci. and Eng., Kyoto University/The Hakubi Center for Advanced Research, Kyoto University), Takashi Komatsubara (HORIBA, Ltd.), Seiji Higuchi (HORIBA, Ltd.), Kazumi Matsushige (Department of Elect. Sci. and Eng., Kyoto University), Hirofumi Yamada (Department of Elect. Sci. and Eng., Kyoto University)

キーワード: 走査プローブ顕微鏡，Siカンチレバー，周波数変調検出方式　　scanning probe microscopy，Si cantilever，frequency modulation detection

要約(英語): We developed a twin-probe atomic force micrsocpy (AFM) system using Si-cantilever probes. The system utilizes the optical beam deflection method for detecting the deflection of each cantilever-probe mounted on each tube-type actuator. The cantilever-probes mounted on each actuator are realized independent control of the probe positions, which are attached to manual-sliders. Each displacement sensing sensitivity of two cantilever-probes achieves 90fm/√Hz or less. We succeeded the simultaneous observation of the topographic image under the state which they approached mutually with 40μm.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.135 No.4 （2015）

本誌掲載ページ: 135-141 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/135/4/135_135/_article/-char/ja/