高感度静電容量型センサにおけるBrownian Noise評価手法

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2015/04/01

タイトル(英語): An Evaluation Method of Brownian Noise in Highly Sensitive Capacitive Sensors

著者名: 山根　大輔（東京工業大学），小西　敏文（NTTアドバンステクノロジ（株）），松島　隆明（NTTアドバンステクノロジ（株）），亀井　将太（東京工業大学），益　一哉（東京工業大学），町田　克之（東京工業大学／NTTアドバンステクノロジ（株））

著者名(英語): Daisuke Yamane (Tokyo Institute of Technology), Toshifumi Konishi (NTT Advanced Technology Corporation), Takaaki Matsushima (NTT Advanced Technology Corporation), Shota Kamei (Tokyo Institute of Technology), Kazuya Masu (Tokyo Institute of Technology), Katsuyuki Machida (Tokyo Institute of Technology/NTT Advanced Technology Corporation)

キーワード: 静電容量型センサ，ブラウニアンノイズ，MEMS加速度センサ，Q値，減衰係数　　capacitive sensor，Brownian Noise，MEMS accelerometer，Q factor，damping coefficient

要約(英語): This paper reports a novel method of evaluating the actual Bn (Brownian Noise) in capacitive sensors for high sensitivity. By analyzing the frequency response of the electrical impedance, the proposed method provides an advantage of evaluating the Bn associated with the mechanical characteristics of capacitive sensors even when the sensors are packaged. We employed the method to measure the quality factors of the MEMS capacitive sensors, and evaluated the value of the Bn and the damping coefficients. The experimental results show a good agreement with the conventionally-known physical parameters.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.135 No.4 （2015）

本誌掲載ページ: 142-143 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/135/4/135_142/_article/-char/ja/