P(VDF/TrFE)薄膜を用いたMEMS超音波センサの開発

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2015/05/01

タイトル(英語): Development of MEMS Ultrasonic Sensor Using P(VDF/TrFE) Thin Films

著者名: 田中　恒久（大阪府立産業技術総合研究所），村上　修一（大阪府立産業技術総合研究所），宇野　真由美（大阪府立産業技術総合研究所），山下　馨（京都工芸繊維大学 大学院工芸科学研究科）

著者名(英語): Tsunehisa Tanaka (Technology Research Institute of Osaka Prefecture), Shuichi Murakami (Technology Research Institute of Osaka Prefecture), Mayumi Uno (Technology Research Institute of Osaka Prefecture), Kaoru Yamashita (Graduate School of Science and Technology, Kyoto Institute of Technology)

キーワード: 超音波センサ，MEMS，P(VDF/TrFE)，ダイアフラム，樹脂，強誘電性　　Ultrasonic Sensor，MEMS，P(VDF/TrFE)，Diagram，Polymer，Ferroelectric

要約(英語): MEMS ultrasonic sensor was fabricated using the poly(vinylidene fluoride-trifluoroethylene)[P(VDF/TrFE)] copolymer thin films having multilayer diaphragm structures. It was shown that the P(VDF/TrFE) thin film on MEMS ultrasonic sensor exhibit a remanent polarization Pr of 72 mC/m2 and a coercive field Ec of 59 MV/m. The resonant frequency, Q-value and sensitivity of the MEMS ultrasonic sensors are estimated to be on the order of 178 kHz, 24 and 45 μV/Pa, respectively. The P(VDF/TrFE) thin film was shown to be useful for piezoelectric material of MEMS ultrasonic sensor.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.135 No.5 （2015） 特集：平成26年度「センサ・マイクロマシン部門総合研究会」

本誌掲載ページ: 145-151 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/135/5/135_145/_article/-char/ja/