BiFeO3圧電体薄膜を用いたマイクロカンチレバー触覚センサの検討

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2015/05/01

タイトル(英語): Tactile Sensor Using Micro-cantilever with BiFeO3 Piezoelectric Film

著者名: 三原　雅人（新潟大学大学院 自然科学研究科），野沢　瑛斗（新潟大学大学院 自然科学研究科），安部　隆（新潟大学大学院 自然科学研究科），奥山　雅則（大阪大学 ナノサイエンスデザイン教育研究センター），野間　春生（立命館大学 情報理工学部），東 　輝明（新機能素子研究所），寒川　雅之（新潟大学大学院 自然科学研究科）

著者名(英語): Masato Mihara (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Akito Nozawa (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Takashi Abe (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Masanori Okuyama (Institute for NanoScience Design, Osaka University), Haruo Noma (College of Information Science and Engineering, Ritsumeikan University), Teruaki Azuma (Novel Functional Devices Laboratory), Masayuki Sohgawa (Graduate School of Science and Technology, Niigata University)

キーワード: 触覚センサ，圧電体薄膜，マイクロカンチレバー，BiFeO3　　tactile sensor，piezoelectric thin film，micro-cantilever，BiFeO3

要約(英語): We have developed the tactile sensor using micro-cantilevers embedded in the elastomer which can measure both the normal and shear forces by piezoresistance. In this work, a piezoelectric tactile sensor using micro-cantilevers embedded in the elastomer has been proposed and fabricated for realizing lower power consumption than the conventional sensor using piezoresistor. The BiFeO3 thin film (thickness: 400 nm) deposited by rf sputtering at substrate temperature of 520℃ and gas pressure of 0.6 Pa has a good piezoelectric property because output voltage of 300 mV is obtained for strain induced by vibration of the cantilever. Therefore, it is demonstrated that the BiFeO3 can be used to detect the micro-cantilever deflection by external force applied on the tactile sensor.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.135 No.5 （2015） 特集：平成26年度「センサ・マイクロマシン部門総合研究会」

本誌掲載ページ: 158-164 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/135/5/135_158/_article/-char/ja/