高面精度共振型焦点可変ミラー

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2015/05/01

タイトル(英語): High Surface Accuracy Resonant Varifocal Mirror

著者名: 中澤　謙太（東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻），佐々木　敬（東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻），羽根　一博（東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻）

著者名(英語): Kenta Nakazawa (Department of Nanomechanics, Tohoku University), Takashi Sasaki (Department of Nanomechanics, Tohoku University), Kazuhiro Hane (Department of Nanomechanics, Tohoku University)

キーワード: 焦点可変ミラー，共振振動，面精度，周波数応答　　Varifocal mirror，Resonant vibration，Surface accuracy，Frequency response

要約(英語): Electrostatically actuated resonant varifocal mirrors were developed by bonding a silicon-on-insulator wafer and a glass wafer. Three different types of supporting fringes for the mirrors were tested to study the mirror's surface profiles by using the optical interference images. The surface profile deviation from the ideal parabolic shape was supported to 70 nm or less when the mirror's supporting fringe was made to be mechanically compliant.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.135 No.5 （2015） 特集：平成26年度「センサ・マイクロマシン部門総合研究会」

本誌掲載ページ: 165-170 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/135/5/135_165/_article/-char/ja/