ナノポーラスSiO2を用いた高耐熱エレクトレットの開発および振動発電デバイスへの応用

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2015/05/01

タイトル(英語): Development of Nano-porous SiO2 Electret with High Thermal Resistance and Its Application to Vibration Energy Harvester

著者名: 鈴木　昌人（関西大学 システム理工学部），高橋　智一（関西大学 システム理工学部），青柳　誠司（関西大学 システム理工学部）

著者名(英語): Masato Suzuki (Faculty of Engineering Science, Kansai University), Tomokazu Takahashi (Faculty of Engineering Science, Kansai University), Seiji Aoyagi (Faculty of Engineering Science, Kansai University)

キーワード: エレクトレット，ナノポーラス，エナジーハーベスティング，振動発電，二酸化シリコン（SiO2），陽極エッチング　　Electret，Nano porous，Energy harvesting，Vibration power generation，Silicon dioxide (SiO2)，Anodic etching

要約(英語): This paper proposes a new electret with high surface potential and high thermal resistance, which is made of nano-porous silicon dioxide (SiO2). Electrical charge density in the nano-porous SiO2 is higher than that in a normal (i.e., nonporous) SiO2 because there are many voids in the nano-porous SiO2 and the interface between void and SiO2 traps electrical charges strongly. Therefore, decrease rate of the trapped charge density in the nano-porous SiO2 is lower than that of normal SiO2. Since SiO2 is thermally stable, thermal stability of the electrical charge in nano-porous SiO2 electret is better than that in a polymer electret. Output power generated by vibration energy harvesting using the nano-porous SiO2 electret is also larger than that using the normal SiO2 or polymer electret.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.135 No.5 （2015） 特集：平成26年度「センサ・マイクロマシン部門総合研究会」

本誌掲載ページ: 171-177 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/135/5/135_171/_article/-char/ja/