表面波と結合した回折格子中共鳴モードによる熱輻射制御－光学解析と製作法検討－

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2015/05/01

タイトル(英語): Thermal Radiation Control by Resonant Mode in Diffraction Gratings Coupled to Surface Wave―Optical Analysis and Fabrication Process―

著者名: 伊藤　晃太（（株）豊田中央研究所／東京大学 先端科学技術研究センター），松井　崇行（（株）豊田中央研究所），飯塚　英男（（株）豊田中央研究所），年吉　洋（東京大学 先端科学技術研究センター）

著者名(英語): Kota Ito (Toyota Central R&D Labs., Inc./RCAST, The University of Tokyo), Takayuki Matsui (Toyota Central R&D Labs., Inc.), Hideo Iizuka (Toyota Central R&D Labs., Inc.), Hiroshi Toshiyoshi (RCAST, The University of Tokyo)

キーワード: サブ波長格子，熱輻射制御，共鳴格子，表面プラズモンポラリトン，不純物導入したシリコン　　subwavelength gratings，thermal radiation control，resonant gratings，surface plasmon polariton，doped silicon

要約(英語): Subwavelength structures are attracting scientific interests as a novel mean of thermal radiation control. In our previous work, we proposed emissivity control through the coupling between the surface polariton and the guided mode in resonant gratings. In this paper, we analytically investigate the emissivity of the thermal emitter that consists of slightly doped silicon gratings and a heavily doped silicon layer. The modal analysis is used to evaluate the active modulation capability. Fabrication process to manufacture the device and challenges encountered on the fabrication are discussed. The actuation of the grating height is also simulated.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.135 No.5 （2015） 特集：平成26年度「センサ・マイクロマシン部門総合研究会」

本誌掲載ページ: 184-190 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/135/5/135_184/_article/-char/ja/