静電容量型振動子を用いたPMMAの疲労試験

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2015/07/01

タイトル(英語): Electrostatic Resonator for Fatigue Test of PMMA

著者名: 柴田　駿（立命館大学理工学研究科），天谷 　諭（TOWA（株）），杉山　進（立命館大学理工学研究科），安藤　妙子（立命館大学理工学研究科）

著者名(英語): Suguru Shibata (Graduate School of Science and Engineering, Ritsumeikan University), Satoshi Amaya (TOWA Corporation), Susumu Sugiyama (Graduate School of Science and Engineering, Ritsumeikan University), Taeko Ando (Graduate School of Science and Engineering, Ritsumeikan University)

キーワード: ポリマーMEMS，PMMA，疲労試験，ホットエンボス，静電容量型アクチュエータ　　Polymer MEMS，PMMA，fatigue test，hot embossing，electrostatic actuator

要約(英語): Fatigue behavior of polymethyl methacrylate (PMMA) was studied by using polymer electrostatic actuator connected with polymer specimen. A concentrated force was applied at the notch tip introduced at the side of the specimen when the actuator moved in a circumferential direction. The fatigue test was performed under resonant frequency and two specimens broke down by cyclic loading. The decrease in stiffness of the specimen by crack generating and progressing resulted in the deflection of the specimen and stoppage of the actuator's drive by misalignment of the comb-electrode.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.135 No.7 （2015） 特集：脳を読み取るセンサ技術 ～脳機能計測の最前線～

本誌掲載ページ: 257-262 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/135/7/135_257/_article/-char/ja/