半導体式ガスセンサおよび接触燃焼式ガスセンサ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2015/08/01

タイトル(英語): Semiconductor Gas Sensors and Catalytic Combustion Type Gas Sensors

著者名: 原　和裕（東京電機大学 工学部）

著者名(英語): Kazuhiro Hara (Tokyo Denki University)

キーワード: 半導体式ガスセンサ，接触燃焼式ガスセンサ，MEMSデバイス　　semiconductor gas sensor，combustion type gas sensor，MEMS device

要約(英語): This review provides materials, configurations, and sensing principles of semiconductor gas sensors and catalytic combustion type gas sensors. Much effort is currently devoted to developing new materials and novel sensing technologies in response to growing demands from society for safety and improved health. MEMS based sensors are especially promising because they can be operated with a small battery making them suitable for wearable and portable instruments. They can also be implemented as multiple array sensors or multi-functional sensors.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.135 No.8 （2015） 特集：ケミカルセンサの基礎

本誌掲載ページ: 270-275 p

原稿種別: 解説／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/135/8/135_270/_article/-char/ja/