水晶振動子を利用したセンサデバイス

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2015/08/01

タイトル(英語): Application of the Smart Sensors using Quartz Crystal Microbalance

著者名: 野田　和俊（（研）産業技術総合研究所 環境管理研究部門），愛澤　秀信（（研）産業技術総合研究所 環境管理研究部門）

著者名(英語): Kazutoshi Noda (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Environmental Management Research Institute), Hidenobu Aizawa (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Environmental Management Research Institute)

キーワード: 水晶振動子，電気化学センサ，スマートセンサ，QCM　　Quartz crystal microbalance，Electrochemical sensor，Smart sensor，QCM

要約(英語): Sensors of quartz crystal microbalance (QCM) based on thin nano scale films for detection of volatile chemicals by utilizing resonance frequency change allow to detect at the trace mass change of the chemicals attached on surfaces of the QCM at nano gram level. Development of the detection film for the QCM sensor is important, because the characteristics of the QCM sensor depend on the structure of the detection film. The detection mechanisms of the QCM sensors are classified into three types as follows: a) direct reaction type, b) hybrid reaction type, c) detection membrane type (increase or decrease system). The recently developed sensors detected volatile chemicals at extremely low concentrations almost independent on temperature and humidity.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.135 No.8 （2015） 特集：ケミカルセンサの基礎

本誌掲載ページ: 292-298 p

原稿種別: 解説／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/135/8/135_292/_article/-char/ja/