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集積回路上へのBST薄膜可変容量とAuめっき厚膜インダクタのモノリシック集積化

集積回路上へのBST薄膜可変容量とAuめっき厚膜インダクタのモノリシック集積化

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カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2015/08/01

タイトル(英語): Monolithic Integration of BST Thin Film Varactors and Au Electroplated Thick Film Inductors above IC

著者名: 浅野 翔(東北大学大学院工学研究科),Ramesh Pokharel(九州大学大学院システム情報科学研究院),Awinash Anand(九州大学大学院システム情報科学研究院),平野 栄樹(東北大学大学院工学研究科),田中 秀治(東北大学大学院工学研究科)

著者名(英語): Sho Asano (Graduate School of Engineering, Tohoku University), Ramesh Pokharel (Graduate School of Information Science and Electrical Engineering, Kyushu University), Awinash Anand (Graduate School of Information Science and Electrical Engineering, Kyushu University), Hideki Hirano (Graduate School of Engineering, Tohoku University), Shuji Tanaka (Graduate School of Engineering, Tohoku University)

キーワード: チタン酸バリウムストロンチウム,可変容量,厚膜インダクタ,モノリシック集積化,薄膜転写,BCB樹脂接合  barium strontium titanate (BST),varactor,thick film inductor,monolithic integration,thin film transfer,BCB polymer bonding

要約(英語): This paper presents an integration process of barium strontium titanate (BST) thin film varactors and Au thick film inductors above an integrated circuit (IC) by film transfer technology and Au electroplating process. A high-quality BST film grown on a Si substrate at 650℃ was patterned into MIM (Metal-Insulator-Metal) structures, and transferred to an IC substrate at 270℃ by BCB (Benzocyclobutene) polymer bonding and Si lost wafer process. Thick film inductors fabricated by Au electroplating were also integrated above the IC substrate to realize high Q factor. The capacitance tunability of the BST varactors did not decrease by transfer process. The Q factor of the fabricated inductor was higher than that of conventional inductors on IC chips. The resonant frequency of an LC series resonance circuit composed of the transferred BST varactor and the Au electroplated inductor changed from 0.76 GHz to 1.19 GHz by applying a DC bias voltage of 8 V to the BST varactor. Monolithic integration technology developed in this research will be useful for tunable radio frequency circuits like tunable power amplifiers.

本誌: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol.135 No.8 (2015) 特集:ケミカルセンサの基礎

本誌掲載ページ: 323-329 p

原稿種別: 論文/日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/135/8/135_323/_article/-char/ja/

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