マイクロ流体デバイスの熱解析のための白金マイクロヒーターの電気特性

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2015/08/01

タイトル(英語): Electrical Property of Platinum Micro Heater for Thermal Analysis of Microfluidic Device

著者名: 上野　遼平（東京大学生産技術研究所），フィリス　イエスィルコイ（Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL)），ユルゲン　ブルガー（Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL)），金　範埈（東京大学生産技術研究所）

著者名(英語): Ryohei Ueno (Institute of Industrial Science, The University of Tokyo), Filiz Yesilkoy (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL)), Jurgen Brugger (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL)), Beomjoon Kim (Institute of Industrial Science, The University of Tokyo)

キーワード: マイクロ流体デバイス，マイクロヒーター，有限要素法，熱解析，ジュール加熱，電気特性　　microfluidic device，micro heater，finite element modeling，thermal analysis，Joule heating，electrical property

要約(英語): This paper shows thermal measurement and analysis of a microfluidic device integrated with local thin film heater. Thermal analysis was calculated by finite element modeling. Electrical property of the micro heater was calibrated in advance of the thermal analysis due to the difference from the bulk property of Pt. The thermal analysis results agreed well with experimental results. Our integrative approach suggests an importance of proper electrical measurement in micro heaters with Joule heating.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.135 No.8 （2015） 特集：ケミカルセンサの基礎

本誌掲載ページ: 338-342 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/135/8/135_338/_article/-char/ja/