剥離可能な分割リング共振器フィルムの作製

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2015/11/01

タイトル(英語): Fabrication of the Peelable Polymer Film with the Split Ring Resonator

著者名: 谷川　紘太（徳島大学 ソシオテクノサイエンス研究部），岡本　敏弘（徳島大学 ソシオテクノサイエンス研究部），原口　雅宣（徳島大学 ソシオテクノサイエンス研究部）

著者名(英語): Kota Tanikawa (Graduate School of Advanced Technology and Science, Tokushima University), Toshihiro Okamoto (Graduate School of Advanced Technology and Science, Tokushima University), Masanobu Haraguchi (Graduate School of Advanced Technology and Science, Tokushima University)

キーワード: メタマテリアル，プラズモニクス，分割リング共振器，微小球リソグラフィ　　Metamaterial，Plasmonics，Split ring resonator，Nanosphere lithography

要約(英語): We have established a fabrication method of Split Ring Resonator (SRR) for optical region on a peelable polymer film and developed a stacking technique for the film with SRR. The film with SRR (SRR film) fabricated by nanosphere lithography can be separated from the glass substrate by melting a sacrificial layer formed between the SRR film and the substrate, and stacked on other substrate by scooping the SRR film floating in water. We have successfully fabricated the double-layered SRR film by the stacking technique. The experimental scattered light spectra of the double-layered SRR film possess the peak related to the LC resonance mode of the SRR. The vertical SRR to the substrate was also fabricated on a micro-size cubic on a silica substrate by the stacking technique.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.135 No.11 （2015） 特集：メタマテリアル・プラズモニクス

本誌掲載ページ: 445-449 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/135/11/135_445/_article/-char/ja/