(Zn, Mg)Cr2O4-TiO2系2層半導体セラミックスによる直熱型ガスセンサ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2016/04/01

タイトル(英語): Direct-heated Gas Sensor by P-type Two Layers (Zn, Mg)Cr2O4-TiO2 Ceramics

著者名: 寺田　二郎（大阪工業大学大学院工学研究科），大松　繁（大阪工業大学大学院工学研究科），佐々　誠彦（大阪工業大学大学院工学研究科），矢野　満明（大阪工業大学大学院工学研究科）

著者名(英語): Jiro Terada (Graduate School of Osaka Institute of Technology), Shigeru Omatsu (Graduate School of Osaka Institute of Technology), Shigehiko Sasa (Graduate School of Osaka Institute of Technology), Mitsuaki Yano (Graduate School of Osaka Institute of Technology)

キーワード: ガスセンサ，セラミックス，2層，直熱型　　gas sensor，ceramics，two layers，direct-heated

要約(英語): This article consists of element structure with composition of ZMCT-25 and ZMCT-55 as two layers. ZMCT-25 is composition with a little content of TiO2, the sensitivity is high, the bondability of the electrode is low. On the other, ZMCT-55 is composition with much content of TiO2, the sensitivity is small, the bondability of the electrode is superior. Therefore, we found the possibility of the direct-heated gas sensor by an element with MCT-25 and MCT-55 as two layers structure. In addition, this clause describes sensor properties by the closed loop control using these two layers element and this element.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.136 No.4 （2016）

本誌掲載ページ: 127-132 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/136/4/136_127/_article/-char/ja/