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リフトオフ形成Pt電極による低コストPZT焦電センサの作製法

リフトオフ形成Pt電極による低コストPZT焦電センサの作製法

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カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2016/08/01

タイトル(英語): Fabrication Techniques of Low-cost PZT Pyroelectric Sensor Adopt the Lift-off Patterned Pt Electrode

著者名: 水嵜 英明(長野県工業技術総合センター),飯田 祐介(長野県工業技術総合センター),米久保 荘(長野県工業技術総合センター),佐藤 敏郎(信州大学学術研究院工学系),曽根原 誠(信州大学学術研究院工学系)

著者名(英語): Hideaki Mizusaki (Nagano Prefecture General Industrial Technology Center), Yusuke Iida (Nagano Prefecture General Industrial Technology Center), So Yonekubo (Nagano Prefecture General Industrial Technology Center), Toshiro Sato (Faculty of Engineering, Shinshu University), Makoto Sonehara (Faculty of Engineering, Shinshu University)

キーワード: 焦電センサ,リフトオフ,PZT,薄膜,クラック  pyroelectric effect sensor,lift-off,PZT,thin film,crack

要約(英語): To curtail manufacturing cost of PZT pyroelectric sensor device, we reduced ion milling and ashing process by the lift-off method Pt formation and CSD method PZT thin film deposition. Remanent polarization of the PZT film on patterned Pt was approximately 2Pr = 15 μC/cm2. This value was 2/3 of all over coated Pt deposited at 600℃, but its pyroelectric current was 0.6 pA/mm2. PZT on SiO2/Si has cracks, but by splitting the SiO2 face into 20 μm rectangular through patterning Pt, these cracks were reduced to 20%. Furthermore, ladder-formed Pt electrode was satisfactory for crack-free PZT film on SiO2/Si.

本誌: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol.136 No.8 (2016)

本誌掲載ページ: 337-342 p

原稿種別: 論文/日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/136/8/136_337/_article/-char/ja/

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