水晶振動子を用いた液体分析用コンボセンサにおける形状最適化

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2016/08/01

タイトル(英語): Shape Optimization of Combo Sensor using Quartz Crystal Resonator for Liquid Analysis

著者名: 坂井　了（新潟大学大学院 自然科学研究科），今井　寛明（新潟大学大学院 自然科学研究科），寒川　雅之（新潟大学大学院 自然科学研究科），安部　隆（新潟大学大学院 自然科学研究科）

著者名(英語): Ryo Sakai (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Hiroaki Imai (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Masayuki Sohgawa (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Takashi Abe (Graduate School of Science and Technology, Niigata University)

キーワード: 水晶振動子，液体センサ　　Quartz crystal resonator，Liquid sensor

要約(英語): In this paper, we report the optimized combo sensor using quartz crystal resonator for analyzing the physicochemical properties of liquids. This sensor can measure the mechanical properties and the electrical properties simultaneously by integrating a LFE (Lateral Field Excited) sensor with an ACR (Antiparallel Coupled Resonator) or two types of ACR sensor on a same substrate. We optimized the electrode diameter of resonator for measuring a glucose aqueous solution or NaCl aqueous solution. Moreover, we measured concentration of glucose aqueous solution and NaCl aqueous solution with optimized sensor. This sensor is expected to be used for product quality control in industrial plants.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.136 No.8 （2016）

本誌掲載ページ: 343-347 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/136/8/136_343/_article/-char/ja/