1対の支持梁による3次元駆動MEMSスキャナの形状設計

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2016/10/01

タイトル(英語): The Design of MEMS Scanner for the Three Dimensional Actuation with a Pair of Beams

著者名: 小口　陽平（早稲田大学理工学術院基幹理工学研究科機械科学専攻），飯野　知紗（早稲田大学理工学術院基幹理工学研究科機械科学専攻），岩瀬　英治（早稲田大学理工学術院基幹理工学研究科機械科学専攻）

著者名(英語): Yohei Oguchi (Department of Applied Mechanics, Graduate school of Fundamental Science and Engineering, Waseda University), Chisa Iino (Department of Applied Mechanics, Graduate school of Fundamental Science and Engineering, Waseda University), Eiji Iwase (Department of Applied Mechanics, Graduate school of Fundamental Science and Engineering, Waseda University)

キーワード: MEMSスキャナ，3次元駆動，共振周波数，形状設計　　MEMS scanner，3-D actuation，Resonant frequency，Beam design

要約(英語): We propose the design for three-dimensional (3-D) scanning micromirror with single pair of beams. A 3-D scanning micromirror is powerful solution for projection/detection of a 3-D image in tiny devices. We succeed in designing and fabricating the micromirror having three separated resonance modes (two torsion modes and one parallel mode) with high fill-factor. Our design of single pair of beams can contribute to simpleness and compactness of a 3-D scanner because of easy fabrication and high fill-factor.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.136 No.10 （2016）

本誌掲載ページ: 448-453 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/136/10/136_448/_article/-char/ja/