電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.136 No.11 （2016） 特集：マイクロマシン・MEMSを支えるナノテク技術

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2016/11/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.136 No.11 (2016) Special Issue on “Nanotechnology for Micromachines and MEMS”

著者リスト: ・「マイクロマシン・MEMSを支えるナノテク技術」― 特集号によせて ―：安藤　妙子 ・エレクトロスピニング法による導電性ナノファイバーの開発：坂元　博昭，藤田　聡，末　信一朗 ・3C-SiCナノシートにおける量子閉じ込め効果とピエゾ抵抗特性シミュレーション：中村　康一 ・Human Detection by Optical Readout Thermal Imaging Sensor using Evaporated Eu(TTA)3：Min Wang，Takashiro Tsukamoto，Shuji Tanaka ・Glow Discharge Mass Spectroscopy Study of Ion Concentrations of Joints in Anodic Bonding of Borosilicate Glass to Ultrathin Silicon：Takaki Itoh ・ITO-Based MEMS Sensor Electrode for Dynamic Cow-Rumen pH Sensing：Lan Zhang，Jian Lu，Hirofumi Nogami，Hironao Okada，Toshihiro Itoh ・真空紫外光によるシリコーンのガラス化を利用したガラス製モスアイ構造の作製法：橋本　優生，茂木　克雄，山本　貴富喜

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/136/11/_contents/-char/ja/