MEMS水素ガスセンサのための白金触媒のめっき技術

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2016/12/01

タイトル(英語): Electroplating Technology of Platinum Catalyst for MEMS Hydrogen Gas Sensor

著者名: 大井川　寛（早稲田大学大学院情報生産システム研究科），池沢　聡（早稲田大学大学院情報生産システム研究科），植田　敏嗣（早稲田大学大学院情報生産システム研究科）

著者名(英語): Hiroshi Oigawa (Graduate School of Information Production and Systems, Waseda University), Satoshi Ikezawa (Graduate School of Information Production and Systems, Waseda University), Toshitsugu Ueda (Graduate School of Information Production and Systems, Waseda University)

キーワード: 水素ガスセンサ，白金触媒，白金黒，電気めっき，水晶振動子　　Hydrogen gas sensor，Platinum catalyst，Platinum black，Electroplating，Quartz resonator

要約(英語): In this paper, we discuss electroplating method to deposit platinum catalyst called platinum black on the both-side of sensors on a quartz wafer to improve sensitivity of hydrogen sensors using quartz resonators. By increasing current density until the limiting current density, the platinum black films were deposited on the electrodes of sensors in a stable. Under the constant current condition, controllability of film thickness of platinum black by time was confirmed. As a result of comparison to the sputtered platinum thin film catalyst, the platinum black catalyst showed higher catalytic activity.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.136 No.12 （2016）

本誌掲載ページ: 511-514 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/136/12/136_511/_article/-char/ja/