エアブロー工程の空気圧管理へのカンチレバー型ひずみセンサの適用

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2017/03/01

タイトル(英語): The Application of a Cantilever-based Strain Sensor to Air Pressure Measurement in Air Blowing Process

著者名: 岩松　新之輔（山形県工業技術センター），多田　伸吾（山形県工業技術センター），今野　俊介（山形県工業技術センター），阿部　泰（山形県工業技術センター），矢作　徹（山形県工業技術センター），加藤　睦人（山形県工業技術センター）

著者名(英語): Shinnosuke Iwamatsu (Yamagata Research Institute of Technology), Shingo Tada (Yamagata Research Institute of Technology), Shunsuke Konno (Yamagata Research Institute of Technology), Yutaka Abe (Yamagata Research Institute of Technology), Toru Yahagi (Yamagata Research Institute of Technology), Mutsuto Katoh (Yamagata Research Institute of Technology)

キーワード: 圧縮空気，カンチレバー，ひずみセンサ，圧力測定　　compressed air，cantilever，strain sensor，pressure measurement

要約(英語): We have developed cantilever-based strain sensors which can be used in the pressure measurement of compressed air. The cantilever beam's distortion due to compressed air blowing is detected by strain sensor located at the fixed end of the cantilever. We evaluated the output characteristics, blowing high-pressure N2 gas to the cantilever sensor. The sensor outputs clearly depended on the N2 gas pressure, the distance between the sensor and the nozzle, and N2 gas blowing position. As a result, we confirmed that our sensors can be applied to the pressure measurement of the compressed air.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.137 No.3 （2017）

本誌掲載ページ: 84-88 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/137/3/137_84/_article/-char/ja/