QCMを用いたCO2センサの温湿度特性―アクリロニトリルスチレンを感応膜とした場合―

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2017/04/01

タイトル(英語): Temperature and Humidity Characteristics of a CO2 Sensor using a QCM Coated with Acrylonitrile-styrene Copolymer

著者名: 村岡　茂信（大阪工業大学），東本　慎也（大阪工業大学），貞広　政紀（大阪工業大学），山内　謙（大阪工業大学），大植　弘義（大阪工業大学），大松　繁（大阪工業大学）

著者名(英語): Shigenobu Muraoka (Osaka Institute of Technology), Shinya Higashimoto (Osaka Institute of Technology), Masaki Sadahiro (Osaka Institute of Technology), Ken Yamauchi (Osaka Institute of Technology), Hiroyoshi Oue (Osaka Institute of Technology), Sigeru Omatu (Osaka Institute of Technology)

キーワード: CO2センサ，水晶振動子式微量天秤（QCM），感応膜，アクリロニトリルスチレン，温湿度特性　　CO2 sensor，QCM，sensitive membrane，acrylonitrile-styrene copolymer，temperature and humidity characteristics

要約(英語): Temperature and humidity characteristics of a QCM coated with acrylonitrile styrene copolymer (AS) were studied as a CO2 sensor. Consequently, the following results were obtained. 1) A frequency shift of the QCM is in proportion to CO2 concentration under the condition of constant temperature. 2) The sensitivity for CO2 concentration decreases in a linear fashion with a rise in temperature. 3) The frequency shift increases in a parabolic fashion and the sensitivity for humidity increases in a linear fashion with a rise in humidity under the condition of constant temperature. 4) The sensitivity for absolute humidity decreases in a parabolic fashion with a rise in temperature under the condition of constant absolute humidity.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.137 No.4 （2017）

本誌掲載ページ: 115-120 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/137/4/137_115/_article/-char/ja/