真空中での水晶振動子式小型熱重量分析センサの昇温特性評価

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2017/07/01

タイトル(英語): Evaluation of the Heating Characteristics of Miniature QCR-based Thermogravimetric Sensor in Vacuum

著者名: 和田　涼介（新潟大学大学院 自然科学研究科），寒川　雅之（新潟大学大学院 自然科学研究科），安部　隆（新潟大学大学院 自然科学研究科）

著者名(英語): Ryosuke Wada (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Masayuki Sohgawa (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Takashi Abe (Graduate School of Science and Technology, Niigata University)

キーワード: 水晶振動子微小天秤，熱重量分析，小型化　　QCM，thermogravimetric analysis，miniaturization

要約(英語): In this paper, we proposed a miniature thermogravimetric analysis sensor by using quartz crystal microbalance. We optimized the heating electrode shape of the microheater-integrated QCM for measuring a component of the soil on Mars and physically adsorbed water content in the Martian dust. Then, we evaluated the heating properties of the QCM in vacuum environment. As a result, the temperature of the electrode heated up to 300℃. We found out the optimized QCM showed low power consumption and had superior heating properties.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.137 No.7 （2017） 特集：水晶振動子を用いたケミカル・バイオセンサの最近の進歩：基礎から応用まで

本誌掲載ページ: 180-184 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/137/7/137_180/_article/-char/ja/