近接・接触・滑りを検知できるMEMS多軸触覚センサを用いた小型電動マニピュレータ制御

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2017/07/01

タイトル(英語): Electromotive Manipulator Control by Detection of Proximity, Contact and Slipping Using MEMS Multi-axial Tactile Sensor

著者名: 荒木　凌馬（新潟大学大学院 自然科学研究科），安部　隆（新潟大学大学院 自然科学研究科），野間　春生（立命館大学 情報理工学部），寒川　雅之（新潟大学大学院 自然科学研究科）

著者名(英語): Ryoma Araki (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Takashi Abe (Graduate School of Science and Technology, Niigata University), Haruo Noma (College of Information Science and Engineering, Ritsumeikan University), Masayuki Sohgawa (Graduate School of Science and Technology, Niigata University)

キーワード: 触覚センサ，近接覚センサ，近接・触覚・滑り検知，把持制御　　Tactile sensor，Proximity sensor，Detecting of proximity, Contact and slipping，Gripping control

要約(英語): In this paper, we have demonstrated usefulness of the electromotive manipulator system with a developed single element MEMS sensor which can detect proximity, contact, and slipping to skillful gripping of the object. This MEMS sensor can detect proximity as impedance change of Si substrate by reflected light from the object due to the photoconductive effect. In addition, both normal and shear load can be also detected as resistance change of strain gauge on cantilevers located three-fold symmetry and embedded in PDMS. By attaching the sensor on the electromotive manipulator, accurate control of gripping force was enabled by feedback of the sensor output.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.137 No.7 （2017） 特集：水晶振動子を用いたケミカル・バイオセンサの最近の進歩：基礎から応用まで

本誌掲載ページ: 212-217 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/137/7/137_212/_article/-char/ja/