超音波トランスデューサを指向したPb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層成膜

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2017/10/01

タイトル：超音波トランスデューサを指向したPb(Zr,Ti)O₃薄膜の多層積層成膜

タイトル(英語): Multi-layer Pb(Zr,Ti)O₃ Thin Films for Ultrasonic Transducer

著者名: 中本　翔満（兵庫県立大学），佐野　良（兵庫県立大学），神田　健介（兵庫県立大学），藤田　孝之（兵庫県立大学），前中　一介（兵庫県立大学）

著者名(英語): Shoma Nakamoto (University of Hyogo), Ryo Sano (University of Hyogo), Kensuke Kanda (University of Hyogo), Takayuki Fujita (University of Hyogo), Kazusuke Maenaka (University of Hyogo)

キーワード: PZT薄膜，多層，MEMS，pMUT　　PZT thin film，Multilayer，MEMS，pMUT

要約(英語): In this study, we have fabricated membranes which are composed of 2-layers and 4-layers Pb(Zr,Ti)O₃ thin films with internal electrodes by using sputtering depositions. Electrical and driving characteristics as ultrasonic transducers of these membranes are evaluated. By increasing number of layers, the static displacement is reduced. However, for the multi-layered membrane, the dynamic displacement became large because of the large mechanical Q factor in resonant vibration. The emitted sound pressure level and characteristics of the ultrasonic transducer are estimated.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.137 No.10 （2017） 特集：バイオマイクロシステムの基礎と応用

本誌掲載ページ: 336-340 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/137/10/137_336/_article/-char/ja/