プラズモニックカラーフィルタ一体型フォトダイオードアレイ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2017/11/01

タイトル(英語): Plasmonic Color Filters Integrated on a Photodiode Array

著者名: 江間　大祐（東北大学大学院工学研究科ファインメカニクス専攻），金森　義明（東北大学大学院工学研究科ファインメカニクス専攻），齋　均（産業技術総合研究所 太陽光発電研究センター），羽根　一博（東北大学大学院工学研究科ファインメカニクス専攻）

著者名(英語): Daisuke Ema (Department of Finemechanics, Tohoku University), Yoshiaki Kanamori (Department of Finemechanics, Tohoku University), Hitoshi Sai (RCPV, National Institute of Advanced Industrial Science & Technology), Kazuhiro Hane (Department of Finemechanics, Tohoku University)

キーワード: メタマテリアル，プラズモニクス，構造色，カラーフィルタ，フォトダイオード　　metamaterial，plasmonics，structural color，color filters，photodiodes

要約(英語): Arrayed plasmonic color filters integrated on Si photodiodes with 21 elements were experimentally demonstrated. The plasmonic color filters consisted of nanodot subwavelength periodic structures. Optical characteristics of the color filters were measured and compared with calculated results. In order to obtain spectrum of an incident light from the signal of photodiodes, spectrum reconstruction using Tikhonov regularization was adapted. In the spectral sensitivity of each photodiode, the peak wavelength was adjusted between 400 and 850 nm in wavelength by the period of nanodot structure on each photodiode. The measured peak wavelengths roughly agreed with calculated values with errors less than 30 nm in wavelength. Spectral characteristics of a monochromatic light were measured by fabricated device and spectrum reconstruction was carried out. The position of the center wavelength could be successfully detected.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.137 No.11 （2017） 特集：メタマテリアル・プラズモニクス

本誌掲載ページ: 379-386 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/137/11/137_379/_article/-char/ja/