THz波用MEMS駆動ワイヤグリッド偏光子の製作と光学特性評価

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2017/11/01

タイトル(英語): Fabrication of MEMS-driven Wire Grid Polarizers in THz Region and Evaluation of the Optical Characteristics

著者名: 石井　雄大（東北大学大学院工学研究科ファインメカニクス専攻），中田　陽介（信州大学環境・エネルギー材料科学研究所），時実　悠（理化学研究所光量子工学研究領域テラヘルツ光研究グループ テラヘルツ光源研究チーム），瀧田　佑馬（理化学研究所光量子工学研究領域テラヘルツ光研究グループ テラヘルツ光源研究チーム），金森　義明（東北大学大学院工学研究科ファインメカニクス専攻），南出　泰亜（理化学研究所光量子工学研究領域テラヘルツ光研究グループ テラヘルツ光源研究チーム），羽根　一博（東北大学大学院工学研究科ファインメ

著者名(英語): Yuta Ishii (Department of Finemechanics, Tohoku University), Yosuke Nakata (Center for Energy and Environmental Science, Shinshu University), Yu Tokizane (Tera-photonics Research Team, Terahertz-Wave Research Group, RIKEN Center for Advanced Photonics, RIKEN), Yuma Takida (Tera-photonics Research Team, Terahertz-Wave Research Group, RIKEN Center for Advanced Photonics, RIKEN), Yoshiaki Kanamori (Department of Finemechanics, Tohoku University), Hiroaki Minamide (Tera-photonics Research Team, Terahertz-Wave Research Group, RIKEN Center for Advanced Photonics, RIKEN), Kazuhiro Hane (Department of Finemechanics, Tohoku University)

キーワード: MEMS，テラヘルツ，ワイヤグリッド偏光子，プラズモン　　MEMS，terahertz，wire-grid polarizers，plasmon

要約(英語): Micro-electromechanical-systems driven wire grid polarizers (MEMS-WGPs) were proposed and fabricated. MEMS-WGPs mainly consisted of an Au cantilever array and two kinds of electrical leads. One lead was connected with cantilevers and the other lead was located under the cantilevers. Because the cantilevers were electrostatically actuated downward by applying voltage between the two leads and made contact with the next cantilever, transmittance could be changed. Static wire grid polarizers were also fabricated and measured their optical characteristics in THz region, as preliminary step toward MEMS-WGPs. MEMS-WGP was successfully fabricated and the cantilever array was electrostatically actuated. In THz region, transmittance of the fabricated MEMS-WGP was changed from 14.7% to 10.6% on average by applied voltage of 200V.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.137 No.11 （2017） 特集：メタマテリアル・プラズモニクス

本誌掲載ページ: 407-414 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/137/11/137_407/_article/-char/ja/