X線を用いた熱化学異方性エッチングによるPTFEの微細加工プロセスの検討

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2017/12/01

タイトル(英語): Study on Microfabrication of Polytetrafluoethylene using X-ray-induced Pyrochemical Anisotropic Etching

著者名: 山口　明啓（兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所），木戸　秀樹（兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所），竹内　雅耶（兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所），内海　裕一（兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所）

著者名(英語): Akinobu Yamaguchi (Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry, University of Hyogo), Hideki Kido (Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry, University of Hyogo), Masaya Takeuchi (Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry, University of Hyogo), Yuichi Utsumi (Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry, University of Hyogo)

キーワード: 放射光，ポリテトラフルオロエチレン（PTFE），マイクロ化学チップ，X線加工，フーリエ変換赤外分光，熱化学異方性エッチング　　Synchrotron Radiation，Polytetrafluoethylene (PTFE)，microfluidic chip，X-ray irradiation etching，FT-IR spectroscopy，Pyrochemical anisotropic etching

要約(英語): We demonstrated microfabrication of polytetrafluoethylene (PTFE) using X-ray-induced pyrochemical anisotropic etching process. We found the scission of PTFE main polymer chain was induced by X-ray irradiation. The decrease of fragment length enabled pyrochemical etching because of decreasing the desorption temperature of scission fragment. Here, we can diminish the distortion of fabricated PTFE fine pattern in a large area using the pyrochemical anisotropic etching process. We also found the thermal exchange process and vapor pressure through a He gas can provide a clue to achieve the higher precision fabrication of PTFE.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.137 No.12 （2017）

本誌掲載ページ: 417-421 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/137/12/137_417/_article/-char/ja/