MEMS超音波センサを用いた水中移動物体の速度計測

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2018/02/01

タイトル(英語): Velocity Measurement using MEMS Ultrasonic Sensor for Non-invasive Blood Pressure Measurement

著者名: 竹井　裕介（産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター），松井　亮（東京大学 情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻），グェン　ミン ジュン（東京大学 情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻），高畑　智之（東京大学 情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻），松本　潔（東洋大学 理工学部 機械工学科），下山　勲（東京大学 情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻）

著者名(英語): Yusuke Takei (Research Cengter for Ubiquitous MEMS and Micro Engineering, Advanced Industrial Science and Technology), Ryo Matsui (Department of Mechano-Informatics, Graduate School of Information Science and Technology, The University of Tokyo), Nguyen M

キーワード: MEMS，超音波センサ，ピエゾ抵抗　　MEMS，Ultrasonic sensor，Piezo-resistive

要約(英語): We measured flow speed of a moving object in a water with Doppler effect using a MEMS ultrasonic receiver. This measurement is aimed for non-invasive blood pressure measurement. We proposed a wide frequency range receiver to measure both blood flow speed and vessel diameter at the same time in a blood vessel. Our sensor has a piezoresistive cantilever which is put on the boundary between air and liquid in a device. According to this structure, proposed receiver can measure acoustic waves from Hz to MHz order frequency, so that we can obtain blood flow speed (MHz order), and blood pressure change (Hz order) with the same device. On this paper, we measured flow speed ranging from 64.0 to 76.3 mm/s with 5.6 to 19% error.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.138 No.2 （2018）

本誌掲載ページ: 54-58 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/138/2/138_54/_article/-char/ja/