静電ピストンアレイ駆動型MEMS可変形状ミラーの数理解析モデル構築

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2018/02/01

タイトル(英語): Mathematical Modeling and Analysis of MEMS Deformable Mirror Actuated by Electrostatic Piston Array

著者名: 宇野　亜季子（京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻），平井　義和（京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻），土屋　智由（京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻），田畑　修（京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻）

著者名(英語): Akiko Uno (Nano/Micro System Engineering Laboratory, Department of Micro Engineering, Kyoto University), Yoshikazu Hirai (Nano/Micro System Engineering Laboratory, Department of Micro Engineering, Kyoto University), Toshiyuki Tsuchiya (Nano/Micro System E

キーワード: 可変形状ミラー，波面補償素子，静電型ピストンアレイ，数理解析モデル，薄板曲げ理論　　deformable mirror，wave-front compensation device，electrostatic piston array，mathematical analysis model，plate theory

要約(英語): In this report, we constructed a simple mathematical analysis model for a new MEMS deformable mirror using an electrostatic piston array. The deformable mirror has been developed as a wave-front compensation device in adaptive optics for retinal observation. The device realizes a large convex deformation with a low operation voltage because of moving bottom electrodes on the pistons. The constructed model is based on the plate theory and simple superposition of the actuation components. The calculated deformation analyzed using this model agrees well with that analyzed using the finite element method not only in deformation shape but the peak-valley deformations. In addition, the calculation time is much shorter, so the model can be used for design optimization of the device.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.138 No.2 （2018）

本誌掲載ページ: 66-73 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/138/2/138_66/_article/-char/ja/