熱型絶対湿度センサの高湿度・結露環境に向けた要素技術開発

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2018/05/01

タイトル(英語): Component Technology Development of Thermal Absolute Humidity Sensor for High Humidity and Condensation Environments

著者名: 豊島　克久（地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター）

著者名(英語): Katsuhisa Toshima (Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute)

キーワード: マイクロヒータ，湿度センサ，熱伝導式センサ，結露環境，ホットワイヤ，人工呼吸器　　microheater，humidity sensor，thermal conductivity sensor，condensation environment，hot wire，ventilator

要約(英語): The author presents a thermal conductivity absolute humidity sensor whose substrate and its channel can be heated. Water droplets getting into the channel due to condensation can be removed by the substrate heater and the bridge heater setting in the channel. Thus this sensor is expected to be applied in condensation environment, such as a humidity sensor for medical ventilator. The output voltage from the prototype platinum hot wire sensor is stably obtained by using the pulse current waveform from the programmable current source under the conditions of 100%RH and 33℃.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.138 No.5 （2018） 特集：平成29年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会

本誌掲載ページ: 198-203 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/138/5/138_198/_article/-char/ja/