結晶方位分布関数による結晶集合組織のピエゾ抵抗表記

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2018/05/01

タイトル(英語): Description of Piezoresistance in Polycrystalline Aggregates by Crystallites Orientation Distribution Function

著者名: 安藤　妙子（立命館大学 理工学部 機械工学科），鳥山　寿之（立命館大学 理工学部 機械工学科）

著者名(英語): Taeko Ando (Department of Mechanical Engineering, Ritsumeikan University), Toshiyuki Toriyama (Department of Mechanical Engineering, Ritsumeikan University)

キーワード: ピエゾ抵抗，結晶集合組織，結晶方位分布関数，極点図　　Piezoresistance，polycrystalline aggregate，crystallite orientation distribution function，pole figure

要約(英語): In this paper we found that three tensor components of piezoresistance were necessary for a crystallite orientation distribution function (CODF) expressing preferential crystallographic orientation of polycrystalline aggregates. A comparison between an experiment of poly-Si and the theoretical analysis showed the validity of our method representing the piezoresistance anisotropy by using CODF.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.138 No.5 （2018） 特集：平成29年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会

本誌掲載ページ: 214-219 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/138/5/138_214/_article/-char/ja/