薄膜メタマテリアル実現に向けたフレーム構造のTHz応答解析

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2018/07/01

タイトル(英語): Analysis of THz Response of Frame Structures for Achieving Thin-film-type Metamaterials

著者名: 磯崎　瑛宏（東京大学 大学院理学系研究科 化学専攻），菅　哲朗（電気通信大学 大学院情報理工学研究科 機械知能システム学専攻），高橋　英俊（東京大学 大学院情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻），松本　潔（東洋大学 理工学部 機械工学科），下山　勲（東京大学 大学院情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻／東京大学 IRT研究機構）

著者名(英語): Akihiro Isozaki (Department of Chemistry, School of Science, The University of Tokyo), Tetsuo Kan (Graduate School of Informatics and Engineering, The University of Electro-Communications), Hidetoshi Takahashi (Department of Mechano-Informatics, Graduate

キーワード: メタマテリアル，テラヘルツ波，光学フィルタ，MEMS　　Metamaterial，Terahertz wave，Optical filter，MEMS

要約(英語): In this paper, we report on analytical results of terahertz (THz)-wave response of frame structures that support a thin film where metamaterial elements exist. Since the transmittance spectra of the metamaterial including the support frames differ from those of the metamaterial elements excluding the frames, investigation of influences of the frames on the measured spectra is important. A preliminary analysis revealed that the spectra of the metamaterial elements are partially recovered by compensating the measured spectra using time-domain transmittance waves of a bulk silicon-on-insulator wafer, from which the support frames are made. We experimentally demonstrate that the spectra of the support frames depend on the width, but not on the pitch, of the frames. Moreover, we show that a slab-type waveguide model can explain the interference between the support frames and the incident THz waves. The physical mechanism of THz response of support frames, which are clarified in this article, will be helpful to design thin-film type metamaterials.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.138 No.7 （2018） 特集：第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文

本誌掲載ページ: 281-286 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/138/7/138_281/_article/-char/ja/