超高感度スピン歪検知素子およびスピンMEMSマイクロフォンの開発に関するレビュー

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2018/07/01

タイトル(英語): An Ultra-sensitive Spintronic Strain-gauge Sensor and a Spin-MEMS Microphone

著者名: 藤　慶彦（（株）東芝 研究開発センター），原　通子（（株）東芝 研究開発センター），東　祥弘（（株）東芝 研究開発センター），加治　志織（（株）東芝 研究開発センター），増西　桂（（株）東芝 生産技術センター），永田　友彦（（株）東芝 研究開発センター），湯澤　亜希子（（株）東芝 研究開発センター），大津　賢治（（株）東芝 研究開発センター），岡本　和晃（（株）東芝 研究開発センター），馬場　祥太郎（（株）東芝 研究開発センター），小野　富男（（株）東芝 研究開発センター），堀　昭男（（株）東芝 研究開発

著者名(英語): Yoshihiko Fuji (Corporate Research & Development Center, Toshiba Corp.), Michiko Hara (Corporate Research & Development Center, Toshiba Corp.), Yoshihiro Higashi (Corporate Research & Development Center, Toshiba Corp.), Shiori Kaji (Corporate Research & D

キーワード: 歪ゲージ，ゲージファクター，マイクロフォン，スピントロ二クス，MTJ，磁歪　　Strain-gauge，gauge factor，microphone，spintronics，MTJ，magnetostriction

要約(英語): This review provides the spintronic strain-gauge sensor (Spin-SGS) based on a magnetic tunnel junction (MTJ) with a high gauge factor in excess of 5000, which was realized by adopting a novel amorphous Fe-B-based sensing layer with high magnetostriction and low coercivity in a high magnetoresistance Mg-O barrier MTJ. This review also provides a demonstration of novel “Spintronic MEMS (Spin-MEMS) microphone,” in which a series of Spin-SGSs are integrated onto a bulk micromachined diaphragm. The Spin-MEMS microphone exhibits a signal-to-noise ratio (SNR) of 57 dB(A) due to the high strain sensitivity of the Spin-SGSs.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.138 No.7 （2018） 特集：第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文

本誌掲載ページ: 287-293 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/138/7/138_287/_article/-char/ja/