高温域で安定な高ゲージ率を示すCr-Al-N薄膜ひずみセンサ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2018/07/01

タイトル(英語): Stable High Gauge Factor of Cr-Al-N Thin Film Strain Sensor in High Temperature Range

著者名: 丹羽　英二（公益財団法人 電磁材料研究所）

著者名(英語): Eiji Niwa (Research Institute for Electromagnetic Materials)

キーワード: Cr-Al-N薄膜，ひずみセンサ，ゲージ率，高温，感度温度係数　　Cr-Al-N thin film，strain sensor，gauge factor，high temperature，temperature coefficient of sensitivity

要約(英語): The author investigated gauge factors (Gf) of Cr-Al-N thin films in high temperature range. As a result, it was found that the thin film showed a uniform and high Gf of about 8 over the temperature range from -50℃ to around 350℃. It was considered that the films were able to be expected as high sensitive strain sensors to use in high temperature range.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.138 No.7 （2018） 特集：第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文

本誌掲載ページ: 294-300 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/138/7/138_294/_article/-char/ja/