Pd系金属ガラスを用いた高速応答・低消費電力容量型MEMS水素センサに関するレビュー

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2018/07/01

タイトル(英語): A Review of Capacitive MEMS Hydrogen Sensor using Pd based Metallic Glass with Fast Response and Low Power Consumption

著者名: 山﨑　宏明（（株）東芝 研究開発センター），林　裕美（（株）東芝 研究開発センター），増西　桂（（株）東芝 生産技術センター），小野　大騎（（株）東芝 研究開発センター），池橋　民雄（（株）東芝 研究開発センター）

著者名(英語): Hiroaki Yamazaki (Corporate Research & Development Centor, Toshiba Corporation), Yumi Hayashi (Corporate Research & Development Centor, Toshiba Corporation), Kei Masunishi (Manufacturing Engineering Center, Toshiba Corporation), Daiki Ono (Corporate Resea

キーワード: 水素社会，水素センサ，MEMS，容量型，Pd系金属ガラス　　hydrogen society，hydrogen sensor，MEMS，capacitive，Pd based metallic glass

要約(英語): This paper addresses a capacitive MEMS hydrogen sensor using Pd based metallic glass for future hydrogen society. Firstly, we investigate PdCuSi as Pd based metallic glass (MG) and show this material is promising for capacitive MEMS hydrogen sensor. Secondly, we apply the Pd based MG to a hydrogen sensor having inverted T-shaped electrode. The sensor was fabricated by a surface micromachining process. We show that the fabricated hydrogen sensor exhibits hysteresis free and fast response property at room temperature.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.138 No.7 （2018） 特集：第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文

本誌掲載ページ: 312-318 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/138/7/138_312/_article/-char/ja/