粒子径の大きなゼオライトを用いたガスセンサの信頼性確保に向けた衝撃試験

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2018/09/01

タイトル(英語): Impact Test for Ensuring Reliability of Gas Sensors Using Large Particle Size-Zeolite

著者名: 山田　健太郎（東京大学大学院 工学系研究科 電気系工学専攻），Julien　Grand（LCS-CNRS, ENSI de Caen, University of Normandie），岡本　有貴（東京大学大学院 工学系研究科 電気系工学専攻），Rangareddygari Ranga　Reddy（東京大学大学院 工学系研究科 電気系工学専攻），Matthieu　Denoual（GREYC-CNRS, ENSI de Caen, University of Normandie），Svetlana　Mint

著者名(英語): Kentaro Yamada (Grad. Sch. of Eng., Dept. of Electrical Engineering and Information Systems, The University of Tokyo), Julien Grand (LCS-CNRS, ENSI de Caen, University of Normandie), Yuki Okamoto (Grad. Sch. of Eng., Dept. of Electrical Engineering and In

キーワード: MEMS，DRIE，ガスセンサ，ゼオライト，衝撃試験　　MEMS，DRIE，gas sensor，zeolite，impact test

要約(英語): To make high-selective and sensitive gas sensors, embedding zeolite particle to MEMS structures is studied. However, if the zeolite is aggregated, the zeolite structures become fragile and fall off from large MEMS structures. In this paper, we propose covering the aggregated zeolite particle embedded in micro-trenches with thin crystalline zeolite films. This integration method can be used for other powder form materials, like MOFs and quantum dots. In addition, we investigate the impact effects to the three kinds of zeolites (FAU, LTL, and MFI) with and without the thin zeolite films.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.138 No.9 （2018）

本誌掲載ページ: 430-434 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/138/9/138_430/_article/-char/ja/