Pt触媒を用いたWO3系多層薄膜NH3ガスセンサの研究

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2018/10/01

タイトル：Pt触媒を用いたWO₃系多層薄膜NH₃ガスセンサの研究

タイトル(英語): Study on NH₃ Gas Sensors using a WO₃-based Multiple-layered Thin Film with Pt Catalyst

著者名: 森田　翼（東京電機大学 工学研究科），佐野　晃司（東京電機大学 工学研究科），山口　富治（東京電機大学 工学研究科），原　和裕（東京電機大学 工学研究科）

著者名(英語): Tsubasa Morita (Tokyo Denki University), Koji Sano (Tokyo Denki University), Tomiharu Yamaguchi (Tokyo Denki University), Kazuhiro Hara (Tokyo Denki University)

キーワード: NH₃ガスセンサ，WO₃薄膜，Pt触媒，空隙，多層構造　　NH₃ gas sensor，WO₃ thin film，Pt catalyst，interspace，multiple-layered configuration

要約(英語): NH₃ gas is a poisonous substance that adversely affects the environment and humans. A low level NH₃ is created by human bodies and emitted as a component of urine and exhaled breath. Therefore, the detection of NH₃ gas is important to monitor human health conditions. A novel WO₃ multiple-layered thin film NH₃ sensor using Pt catalyst has been developed in this study. WO₃ thin film coated with Pt nanoparticles successfully improves the sensitivity to NH₃ gas. Furthermore, WO₃ multiple-layered thin film with an interspace has the effect of enhancing the sensitivity and lowering the optimum operating temperature. The developed sensor can detect as low as 1 ppm NH₃ gas.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.138 No.10 （2018）特集：社会インフラセキュリティのためのセンサシステム

本誌掲載ページ: 471-476 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/138/10/138_471/_article/-char/ja/