電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.138 No.11 （2018）

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2018/11/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.138 No.11 (2018)

著者リスト: ・導電性酸化膜と金属膜を下部電極に併用したPZT薄膜の結晶成長：水嵜　英明，佐藤　敏郎，曽根原　誠 ・表面粗さ構造における微小管運動の特性評価：中原　佐，宮﨑　勇，小寺　秀俊，横川　隆司，南　和幸 ・銀ナノワイヤと銀薄膜との微小空間における光学特性：山口　堅三，中本　樹，藤井　正光 ・1つの圧電ムーニー型アクチュエータを用いた2軸共振マイクロステージ：藤村　康浩，塚本　貴城，田中　秀治

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/138/11/_contents/-char/ja/