電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.139 No.4 （2019）

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2019/04/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.139 No.4 (2019)

著者リスト: ・SiO2/Si3N4積層ダイアフラムを用いた金属ひずみゲージ圧力センサ：中野　洋，松本　昌大，小野瀬　保夫，太田　和宏 ・非晶質インジウム-ガリウム-亜鉛酸化物半導体薄膜トランジスタを用いた静電気センサの開発：岩松　新之輔，阿部　泰，加藤　睦人，竹知　和重，田邉　浩 ・結晶セレン薄膜を用いたマイクロ可視光センサのためのパターニング技術の開発：足立　悠輔，小林　大造 ・1滴を評価できる水晶発振回路式粘度・濃度複合センサの作製と評価：庄司　拓人，江端　亮，寒川　雅之，安部　隆 ・圧力センサを用いた嚥下動作の検出：高松　優子，福田　博也

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/139/4/_contents/-char/ja/