P(VDF/TrFE)薄膜を用いた高周波型MEMS超音波アレイセンサの開発

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2019/05/01

タイトル(英語): Development of High Frequency Type MEMS Ultrasonic Array Sensor Using P(VDF/TrFE) Thin Films

著者名: 田中　恒久（地方独立行政法人大阪産業技術研究所），村上　修一（地方独立行政法人大阪産業技術研究所），宇野　真由美（地方独立行政法人大阪産業技術研究所）

著者名(英語): Tsunehisa Tanaka (Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology), Shuichi Murakami (Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology), Mayumi Uno (Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology)

キーワード: 超音波センサ，MEMS，P(VDF/TrFE)，ダイアフラム，薄膜，共振周波数　　ultrasonic sensor，MEMS，P(VDF/TrFE)，diagram，thin film，resonant frequency

要約(英語): MEMS (microelectromechanical systems) ultrasonic array sensors were fabricated using the poly (vinylidene fluoride-trifluoroethylene) [P(VDF/TrFE)] copolymer thin films having multilayer diaphragm structures. For increased a resonant frequency of sensor, we developed a new diaphragm structure. The resonant frequency and sensitivity of new MEMS ultrasonic array sensor was estimated to be on the order of 376 kHz and -75 dBV (1V/Pa=0dBV), respectively. This MEMS ultrasonic array sensor can be adapted for ultrasonic 3D imaging and non-destructive ultrasonic testing systems.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.139 No.5 （2019） 特集：平成30年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会

本誌掲載ページ: 88-94 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/139/5/139_88/_article/-char/ja/