「進化するMEMSのためのナノスケール加工技術」―― 特集号によせて ――

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2019/06/01

タイトル(英語): Preface to the Special Issue on “Nanometer-scale Fabrication Techniques for Evolving MEMS”

著者名: 安藤　妙子（立命館大学）

著者名(英語): Taeko Ando (Ritsumeikan University)

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.139 No.6 （2019） 特集：進化するMEMSのためのナノスケール加工技術

本誌掲載ページ: 121-121 p

原稿種別: 巻頭言／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/139/6/139_121/_article/-char/ja/