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マイクロスケール気泡・液滴の電子顕微鏡動的観察のためのMEMS液体セルの開発

マイクロスケール気泡・液滴の電子顕微鏡動的観察のためのMEMS液体セルの開発

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カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2019/06/01

タイトル(英語): Development of MEMS Liquid Cell to Visualize the Dynamics of Bubbles and Droplets at the Microscale

著者名: 石田 忠(東京工業大学)

著者名(英語): Tadashi Ishida (Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 電子線透過膜,マイクロ流路,気泡,液滴,走査電子顕微鏡  electron transparent membrane,microchannel,bubble,droplet,scanning electron microscope

要約(英語): I developed a MEMS liquid cell for the visualization of bubbles and droplets at the microscale using scanning electron microscope (SEM). The MEMS liquid cell has an electron transparent membrane and a microchannel. The electron transparent membrane was Si3N4 of 80 nm in thickness. I tested the wettability of the electron transparent membrane and liquid leakage, and simulated the scattering of an electron beam. The MEMS liquid cell was equipped on the SEM custom-made holder for in-liquid specimens. I observed the bubbles floating in the microchannel and the formation and growth of droplets on the electron transparent membrane at the microscale using SEM.

本誌: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol.139 No.6 (2019) 特集:進化するMEMSのためのナノスケール加工技術

本誌掲載ページ: 137-142 p

原稿種別: 論文/日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/139/6/139_137/_article/-char/ja/

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