慣性装置用MEMSジャイロの高精度化
慣性装置用MEMSジャイロの高精度化
カテゴリ: 論文誌(論文単位)
グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門
発行日: 2019/07/01
タイトル(英語): High-Accuracy MEMS Gyroscope for Inertial Measurement Unit
著者名: 鈴木 カレブ(三菱プレシジョン(株)),小林 健二(三菱プレシジョン(株)),中下 修治(三菱プレシジョン(株)),吉田 幸久(三菱プレシジョン(株))
著者名(英語): Karebu Suzuki (Mitsubishi Precision Co., Ltd.), Kenji Kobayashi (Mitsubishi Precision Co., Ltd.), Shuji Nakashita (Mitsubishi Precision Co., Ltd.), Yukihisa Yoshida (Mitsubishi Precision Co., Ltd.)
キーワード: 慣性装置 (IMU),MEMSジャイロ,モードマッチ,バイアス安定性,バイアス補正 Inertial Measurement Unit (IMU),MEMS gyroscope,mode-matched,bias stability,bias correction
要約(英語): Recently, self-driving cars, small spacecraft, and unmanned aerial vehicles have been widely developed, which requires small size and high performance of IMUs. We have developed the high performance MEMS gyroscope for small size IMUs. This paper described experimental results performed to improve the performance of MEMS gyroscope. By means of mode-matched and bias corrected operations named MPC correction, angle random walk of 0.0069 deg/√h, bias instability of 0.027 deg/h and rate ramp of 0.051 deg/h/h have been achieved.
本誌: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol.139 No.7 (2019) 特集:第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文
本誌掲載ページ: 175-179 p
原稿種別: 論文/日本語
電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/139/7/139_175/_article/-char/ja/
受取状況を読み込めませんでした
